石英缸廠家介紹石英坩堝本身是非晶質的介態能,在適當的條件下他會發生相變化而形成穩定的方石英結晶態。方石英結晶態的形成包括成核與成長二個階段,成核通常發生在石英坩堝壁上的結構缺陷或雜質(特別是一些堿性金屬或重金屬)。初期的方石英結晶為球狀,進一步的成長則是沿著坩堝壁成樹枝狀往側向發展,這是因為石英坩堝與溶液的反應時的垂直方向的成長受到抑制之故。在方石英結晶與非晶質石英坩堝壁之間通常夾雜著一層硅溶液,而在方石英結晶的邊緣,通常覆蓋著棕色的sio氣泡。Sio氣體為棕色,棕色的小圈是sio的結晶。根本原因在于坩堝壁上的雜質或者硅料清洗不干凈所帶來的酸堿或重金屬殘留,使坩堝在高溫下不穩定,造成上訴現象。
解決方法:
1.硅料的清洗需要保證無酸堿殘留或重金屬
2.坩堝本身的質量過關
3.改進工藝,使用涂層或噴涂坩堝。
石英坩堝在高溫下具有趨向變成二氧化硅的晶體(方石英)。這個過程稱為再結晶,也稱為“失透”,通常也稱為“析晶”。
析晶通常發生在石英坩堝的表層,按照中國石英玻璃行業標準規定,半導體工業用石英玻璃在1400℃±5℃下保溫6小時,其析晶層的平均厚度應為<100μm ,在100μm之內的析晶是屬于正常的。嚴重的析晶對拉單晶的影響很大,石英坩堝內壁發生析晶時有可能破換坩堝內壁原有的涂層,這將導致涂層下面的氣泡層和熔硅發生反應,造成部分顆粒狀氧化硅進入熔硅內,使得正在生長中的晶體結構發生變異而無法正常長晶。析晶將減薄石英坩堝原有的厚度,降低了坩堝的強度容易引起石英坩堝的變形。